国内光刻气产品进入ASML供应链!电子特气国产替代将加速提升

（原标题：国内光刻气产品进入ASML供应链!电子特气国产替代将加速提升）

一则公告引爆了二级市场对电子特气的关注。

智通财经APP获悉，2月2日午间，凯美特气(002549.SZ)公告宣布，其控股子公司岳阳凯美特电子特气于当天收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函，凯美特电子特气公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。

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值得一说的是，凯美特气也将成为继华特气体(688268.SH)后，国内第二家获得ASML认证的电子特气厂商。

Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是ASML集团内一家独立运营的企业。Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源，开发、制造和服务深紫外(DUV)光源。产品组合包括使用氟化氩(ArF)或氟化氪(KrF)气体产生深紫外光的准分子激光器。

凯美特气董秘王虹表示，公司光刻气产品通过ASML子公司的合格供应商认证，是后者对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可。公司以后进入光刻气行业市场，不再只是第三方代理销售，毛利率更有保障。受此利好消息推动，凯美特气股价于昨日午后封上涨停。

此外，凯美特气还于2021年相继通过了法国液空、美国相干的稀有气体、混配气认证，电子特气业务开始逐渐放量。

目前，凯美特气已建成并投入12套电子特种气体生产及辅助装置。公司电子特气采用深冷精馏、物理化学吸附等先进技术设备，生产超高纯气体和混合多元气，纯化处理水平远高于国内水平。

随着国产厂商陆续获得巨头认证，市场预计电子特气领域国产替代化率将加速提升。

据了解，电子气体是现代工业之基石，被誉为晶圆制造之“血液”。电子气体可分为大宗气体和特种气体两大类，其下游广泛应用于集成电路、面板、医疗、光纤等新兴行业和冶金、化工等传统行业。

具体到集成电路领域，电子特气应用的种类超过110余种，用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，是半导体行业必需的支撑性材料。

根据亿渡数据，2021年，集成电路是电子特气下游应用中最重要的增长驱动力，其应用占比达到43%。在半导体材料的市场占比中，电子特气占14%，成为仅次于硅片的第二大半导体材料市场。

伴随晶圆厂持续扩产，未来三年国内电子特气需求将呈放量加速态势。

根据华经产业研究院数据，2021年中国电子特种气体市场规模约167亿元，预计2022年将达到189亿元，并于2024年增至230亿元，2022-2024年的CAGR将达到10.31%，未来三年中国电子特气的市场规模增速预计将显著高于全球。

不过，当前全球电子气体呈现外资寡头垄断格局。数据显示，2020年全球电子气体市场的 CR4超过75%，以海外龙头林德集团(含普莱克斯)、空气化工、液化空气和日本酸素为首的气体寡头占据了全球七成以上的电子气体市场份额。

相比之下，国内电子特气产业起步较晚。根据亿渡数据，2020年海外寡头占据了我国86%的电子特气市场份额，国产化率有较大提升空间。

通过经验积累和技术进步，我国电子特气行业打破了完全依赖于进口的局面，涌现出一批生产质量稳定的气体厂商。目前国内电子特气第一梯队的厂商已经具备替代能力，在细分领域具有一定优势，逐步缩小与国外龙头的差距，加速实现国产替代。

除了凯美特气，华特气体已实现20多种气体产品的进口替代，是国内唯一一家通过荷兰ASML和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。当前，华特气体开发的高纯一氧化碳、高纯一氧化氮等代表产品，已批量供应长江存储等国内头部厂商，成为全国最大的氮化镓厂和碳化硅厂的供应商。

投资机会上，民生证券指出，看好国内电子特气受益于下游需求大幅放量和国产替代的迫切需要，建议关注：华特气体、凯美特气、金宏气体、南大光电、雅克科技等优质标的。